Bojiong (Shanghai) Tecnología de maquinaria de precisión Co., Ltd
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Sensor de frente de onda ultravioleta
  • Sensor de frente de onda ultravioletaSensor de frente de onda ultravioleta

Sensor de frente de onda ultravioleta

Para la detección de frente de onda de formas de superficies de oblea planas en el rango de longitud de onda de 200 nanómetros a 450 nanómetros, BOJIONG ha introducido el sensor de frente de onda ultravioleta. Al utilizar tecnología de autointerferencia de trayectoria única, no requiere un haz de referencia. Nuestros productos y servicios se utilizan ampliamente en campos como la fabricación óptica, la investigación aeroespacial, biomédica y energética. Estamos ampliando continuamente nuestra capacidad de producción, mejorando nuestras capacidades técnicas y hemos establecido un marco operativo corporativo sólido.


El sensor de frente de onda ultravioleta, que presenta una alta resolución de fase de 2 NM RMS y una resistencia a las vibraciones extremadamente fuerte. También tiene una resolución de 512×512 píxeles (262.144 puntos de fase), capaz de realizar mediciones de interferencias en el plano focal trasero. La tecnología requiere que la fuente de luz tenga baja coherencia y elimina la necesidad de cambio de fase. Con el sistema de imágenes ultravioleta, el dispositivo es capaz de medir el frente de onda en tiempo real.

 

Especificación del artículo:

 

nombre del producto

Sensor de frente de onda ultravioleta

Rango de onda

200nm~450nm

Tamaño objetivo

13,3 mm × 13,3 mm

Resolucion espacial

26 μm

Resolución de muestreo

512×512(262144píxeles)

Resolución de fase

<2nmRMS

Precisión absoluta

10 nmRMS

Gama dinámica

90 μm (256 min)

Tasa de muestreo

32 fps

Velocidad de procesamiento en tiempo real

10 Hz (resolución completa)

Tipo de interfaz

USB3.0

Dimensión

70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm

Peso

alrededor de 240 g


Característica del sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG

 

 


◆Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm

◆Resolución ultraalta de 512×512 (262144) puntos de fase

◆Autointerferencia de luz de un solo canal, no se requiere luz de referencia

◆ Resolución de fase alta de 2 nm RMS

◆Al igual que las imágenes, construcción de ruta óptica fácil y rápida

◆ Admite haces colimados y haces no colimados de NA alta

◆Rendimiento antivibración extremadamente fuerte, sin necesidad de aislamiento óptico de vibración


 Aplicación del sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG


Este sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG se utiliza para medir la aberración del sistema óptico, calibrar el sistema óptico, medir la forma de la superficie plana (oblea), medir la forma de la superficie óptica esférica, etc.


Detección de frente de onda de rayo láser

Respuesta de detección de frente de onda del modo Zernike de óptica adaptativa

Ejemplo de medición de aberración de un sistema óptico.

 

Ejemplos de medidas de calibración de sistemas ópticos

 

Ejemplo de medición de rugosidad de la superficie de una oblea

 

Medición de morfología por micrograbado: muestra de defecto 1 # -114 líneas


Detalles del sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG


Sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG desarrollado por un equipo de profesores de la Universidad de Zhejiang y la Universidad Tecnológica de Nanyang de Singapur, con tecnología nacional patentada, combina difracción e interferencia para lograr una interferencia de corte transversal común de cuatro ondas, con una sensibilidad de detección superior y un rendimiento antivibración. Y puede realizar interferometría dinámica en tiempo real y de alta velocidad sin aislamiento de vibraciones. La medición en tiempo real muestra una velocidad de cuadros de más de 10 cuadros. Al mismo tiempo, el sensor FIS4 tiene una resolución de fase ultraalta de 512 × 512 (260.000 puntos de fase), la banda de medición cubre 200 nm ~ 15 μm, la sensibilidad de medición alcanza los 2 nm y la repetibilidad de la medición es mejor que 1/1000 λ ( RMS). Se puede utilizar para análisis de la calidad del rayo láser, detección del campo de flujo de plasma, medición en tiempo real de la distribución del campo de flujo de alta velocidad, evaluación de la calidad de la imagen del sistema óptico, medición del perfil microscópico e imágenes de fase cuantitativa de células biológicas.

 

FIS4 Parámetros técnicos de cada serie de productos.

 

Producto

FIS4-UV

FIS4-HR

RELOJ FIS4

FIS4-HS

FIS4-Celda

FIS4-NIR

Rango de onda

200~450nm

400~1100nm

400~1100nm

400~1100nm

400~1100nm

900~1200nm

Tamaño objetivo mm2

13,3×13,3

7,07×7,07

13,3×13,3

10,24×10,24

7,07×7,07

13,3×13,3

Resolucion espacial

26 μm

23,6 µm

26 μm

24,4 μm

23,6 µm

26 μm

Píxel de imagen

-

2048×2048

-

-

2048×2048

-

Resolución de salida de fase

512×512

(262144 píxeles)

300×300(90000píxeles)

512×512(262144píxeles)

420×420(176400píxeles)

300×300(90000píxeles)

512×512(262144píxeles)

Resolución de fase

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

Precisión absoluta

10 nmRMS

10 nmRMS

15 nmRMS

10 nmRMS

10 nmRMS

15 nmRMS

Gama dinámica

90 μm

(256 minutos)

110 μm

(150 minutos)

162μm

(256 minutos)

132 μm

(210 minutos)

110 μm

(150 minutos)

270 μm

(256 minutos)

Tasa de muestreo

32 fps

24 fps

45 fps

107fps

24 fps

45 fps

Velocidad de procesamiento en tiempo real

10Hz

(Resolución completa)

10Hz

(Resolución completa)

10Hz

(Resolución completa)

10Hz

(Resolución completa) Admite procesamiento por lotes retrasado

10Hz

(Resolución completa)

10Hz

(Resolución completa)

Tipo de interfaz

USB3.0

CORTAR

USB3.0

CORTAR

CORTAR

USB3.0

Interfaz externa

-

-

-

-

Puerto C

-

Tamaño mm2

70x46,5x68,5

56,5x43x41,5

70x46,5x68,5

56,5x43x41,5

56,5x43x41,5

70x46,5x68,5

peso

aproximadamente 240 g

alrededor de 120 g

aproximadamente 240 g

alrededor de 120 g

alrededor de 120 g

aproximadamente 240 g

 


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