El sensor de frente de onda ultravioleta, que presenta una alta resolución de fase de 2 NM RMS y una resistencia a las vibraciones extremadamente fuerte. También tiene una resolución de 512×512 píxeles (262.144 puntos de fase), capaz de realizar mediciones de interferencias en el plano focal trasero. La tecnología requiere que la fuente de luz tenga baja coherencia y elimina la necesidad de cambio de fase. Con el sistema de imágenes ultravioleta, el dispositivo es capaz de medir el frente de onda en tiempo real.
|
nombre del producto |
Sensor de frente de onda ultravioleta |
|
Rango de onda |
200nm~450nm |
|
Tamaño objetivo |
13,3 mm × 13,3 mm |
|
Resolucion espacial |
26 μm |
|
Resolución de muestreo |
512×512（262144píxeles） |
|
Resolución de fase |
<2nmRMS |
|
Precisión absoluta |
10 nmRMS |
|
Gama dinámica |
90 μm (256 min) |
|
Tasa de muestreo |
32 fps |
|
Velocidad de procesamiento en tiempo real |
10 Hz (resolución completa) |
|
Tipo de interfaz |
USB3.0 |
|
Dimensión |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
|
Peso |
alrededor de 240 g |
◆Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm
◆Resolución ultraalta de 512×512 (262144) puntos de fase
◆Autointerferencia de luz de un solo canal, no se requiere luz de referencia
◆ Resolución de fase alta de 2 nm RMS
◆Al igual que las imágenes, construcción de ruta óptica fácil y rápida
◆ Admite haces colimados y haces no colimados de NA alta
◆Rendimiento antivibración extremadamente fuerte, sin necesidad de aislamiento óptico de vibración
Este sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG se utiliza para medir la aberración del sistema óptico, calibrar el sistema óptico, medir la forma de la superficie plana (oblea), medir la forma de la superficie óptica esférica, etc.
|
Detección de frente de onda de rayo láser |
Respuesta de detección de frente de onda del modo Zernike de óptica adaptativa |
|
Ejemplo de medición de aberración de un sistema óptico.
|
Ejemplos de medidas de calibración de sistemas ópticos
|
|
Ejemplo de medición de rugosidad de la superficie de una oblea
|
Medición de morfología por micrograbado: muestra de defecto 1 # -114 líneas |
Sensor de frente de onda ultravioleta BOJIONG desarrollado por un equipo de profesores de la Universidad de Zhejiang y la Universidad Tecnológica de Nanyang de Singapur, con tecnología nacional patentada, combina difracción e interferencia para lograr una interferencia de corte transversal común de cuatro ondas, con una sensibilidad de detección superior y un rendimiento antivibración. Y puede realizar interferometría dinámica en tiempo real y de alta velocidad sin aislamiento de vibraciones. La medición en tiempo real muestra una velocidad de cuadros de más de 10 cuadros. Al mismo tiempo, el sensor FIS4 tiene una resolución de fase ultraalta de 512 × 512 (260.000 puntos de fase), la banda de medición cubre 200 nm ~ 15 μm, la sensibilidad de medición alcanza los 2 nm y la repetibilidad de la medición es mejor que 1/1000 λ ( RMS). Se puede utilizar para análisis de la calidad del rayo láser, detección del campo de flujo de plasma, medición en tiempo real de la distribución del campo de flujo de alta velocidad, evaluación de la calidad de la imagen del sistema óptico, medición del perfil microscópico e imágenes de fase cuantitativa de células biológicas.
|
FIS4 Parámetros técnicos de cada serie de productos. |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Producto |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
RELOJ FIS4 |
FIS4-HS |
FIS4-Celda |
FIS4-NIR |
|
Rango de onda |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900~1200nm |
|
Tamaño objetivo mm2 |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
|
Resolucion espacial |
26 μm |
23,6 µm |
26 μm |
24,4 μm |
23,6 µm |
26 μm |
|
Píxel de imagen |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
|
Resolución de salida de fase |
512×512 (262144 píxeles) |
300×300（90000píxeles） |
512×512（262144píxeles） |
420×420（176400píxeles） |
300×300（90000píxeles） |
512×512（262144píxeles） |
|
Resolución de fase |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
|
Precisión absoluta |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15 nmRMS |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15 nmRMS |
|
Gama dinámica |
90 μm (256 minutos) |
110 μm (150 minutos) |
162μm (256 minutos) |
132 μm (210 minutos) |
110 μm (150 minutos) |
270 μm (256 minutos) |
|
Tasa de muestreo |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107fps |
24 fps |
45 fps |
|
Velocidad de procesamiento en tiempo real |
10Hz (Resolución completa) |
10Hz (Resolución completa) |
10Hz (Resolución completa) |
10Hz (Resolución completa) Admite procesamiento por lotes retrasado |
10Hz (Resolución completa) |
10Hz (Resolución completa) |
|
Tipo de interfaz |
USB3.0 |
CORTAR |
USB3.0 |
CORTAR |
CORTAR |
USB3.0 |
|
Interfaz externa |
- |
- |
- |
- |
Puerto C |
- |
|
Tamaño mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
|
peso |
aproximadamente 240 g |
alrededor de 120 g |
aproximadamente 240 g |
alrededor de 120 g |
alrededor de 120 g |
aproximadamente 240 g |
DIRECCIÓN
No. 578 Yingkou Road, distrito de Yangpu, Shanghai, China
Teléfono
Correo electrónico
