El sensor de frente de onda UV BOJIONG de 200-450 nm integra tecnología patentada de difracción de cuatro ondas de codificación aleatoria con una cámara ultravioleta para realizar interferencias en el plano de la imagen trasera, lo que requiere una baja coherencia de la fuente de luz y elimina la necesidad de cambio de fase. Utilizando el sistema de imágenes ultravioleta, este sensor permite la medición del frente de onda en tiempo real con una resistencia y estabilidad a las vibraciones excepcionales, logrando una precisión de nivel nanométrico sin necesidad de aislamiento de vibraciones.
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Nombre del producto |
Sensor de frente de onda UV 200-450 nm |
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Rango de longitud de onda |
200nm~450nm |
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Tamaño objetivo |
13,3 mm × 13,3 mm |
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Resolución espacial |
26 μm |
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Resolución de muestreo |
512×512（262144píxeles） |
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Resolución de fase |
<2nmRMS |
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Precisión absoluta |
10 nmRMS |
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rango dinámico |
90 μm (256 min) |
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Tasa de muestreo |
32 fps |
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Velocidad de procesamiento en tiempo real |
10 Hz (resolución completa) |
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Tipo de interfaz |
USB3.0 |
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Dimensión |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
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Peso |
alrededor de 240 g |
◆Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm
◆Resolución ultraalta de 512×512 (262144) puntos de fase
◆Autointerferencia de luz de un solo canal, no se requiere luz de referencia
◆ Resolución de fase alta de 2 nm RMS
◆Rendimiento antivibración extremadamente fuerte, sin necesidad de aislamiento óptico de vibración
◆Al igual que las imágenes, construcción de ruta óptica fácil y rápida
◆ Admite haces colimados y haces no colimados de NA alta
Este sensor interferométrico ultravioleta de cuatro ondas BOJIONG se utiliza para medir la aberración del sistema óptico, calibrar el sistema óptico, medir la forma de la superficie plana (oblea), medir la forma de la superficie esférica óptica, etc.
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Detección de frente de onda de rayo láser |
Respuesta de detección de frente de onda del modo Zernike de óptica adaptativa |
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Ejemplo de medición de aberración de un sistema óptico. |
Ejemplos de medidas de calibración de sistemas ópticos |
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Ejemplo de medición de rugosidad de la superficie de una oblea |
Medición de morfología por micrograbado: muestra de defecto 1 # -114 líneas |
El sensor de frente de onda UV BOJIONG de 200-450 nm, desarrollado por un equipo de profesores de la Universidad de Zhejiang y la Universidad Tecnológica de Nanyang en Singapur, utiliza tecnología nacional patentada que combina difracción e interferencia para lograr una interferencia de corte transversal de cuatro ondas. Este sensor cuenta con una excelente sensibilidad de detección y rendimiento antivibración, lo que permite una interferometría dinámica de alta velocidad y en tiempo real sin necesidad de aislamiento de vibraciones, con una velocidad de fotogramas de más de 10 fotogramas por segundo. El sensor FIS4 ofrece una resolución de fase ultraalta de 512 × 512 (260 000 puntos de fase), con un rango de medición que abarca de 200 nm a 15 μm, una sensibilidad de medición de 2 nm y una repetibilidad de medición mejor que 1/1000 λ (RMS). Es aplicable para el análisis de la calidad del rayo láser, la detección del campo de flujo de plasma, la medición en tiempo real de la distribución del campo de flujo de alta velocidad, la evaluación de la calidad de la imagen de sistemas ópticos, la medición del perfil microscópico y la obtención de imágenes de fase cuantitativa de células biológicas.
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