En el corazón del sensor de frente de onda UV FIS4 se encuentra la innovadora tecnología aleatoria de difracción de cuatro ondas de BoJiong. Esta tecnología pionera permite la interferencia en el plano focal posterior incluso con una coherencia mínima de la fuente de luz, reduciendo significativamente las restricciones en la coherencia de la fuente de luz y eliminando efectivamente el requisito de cambio de fase. Integrado con un sistema avanzado de imágenes ultravioleta, el sensor de frente de onda UV FIS4 ofrece capacidades de medición de frente de onda en tiempo real, que exhiben resistencia y robustez de vibración excepcionales. Impresionantemente, logra la precisión a escala nanométrica incluso sin sistemas de aislamiento de vibración. Esta capacidad abre nuevas posibilidades para mediciones de alta precisión en entornos diversos y exigentes. BoJiong Optoelectronics está listo para revolucionar la medición y el análisis del rendimiento óptico, guiando a la industria hacia una era de precisión y eficiencia sin precedentes. Al establecer nuevos puntos de referencia para la precisión y la facilidad operativa, el sensor de marco de onda UV FIS4 faculta a los investigadores e industrias para impulsar los límites de la innovación óptica.
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Tipo de fuente de luz |
Láser continuo, láser de pulso, LED, lámpara de halógeno y otras fuentes de luz de banda ancha |
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Rango de longitud de onda |
200 nm ~ 400 nm |
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Tamaño objetivo |
13.3 mm × 13.3 mm |
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Resolución espacial |
26 m m |
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Resolución de salida de fase |
512 × 512 |
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Precisión absoluta |
10nmrms |
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Resolución de fase |
≤ 2nmrms |
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Rango dinámico |
≥90 μ m |
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Tasa de muestreo |
32 fps |
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Velocidad de procesamiento en tiempo real |
5Hz （en resolución completa） |
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Tipo de interfaz |
USB3.0 |
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Dimensión |
70 mm × 46.5 mm × 68.5 mm |
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Peso |
Acerca de 240g |
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Método de refrigeración |
ninguno |
◆ Spectrum UV 200nm ~ 400 nm banda
◆ Resolución de alta fase de 2 nm rms
◆ 100% desarrollado a nivel nacional
◆ Ligera de una sola interferencia de la luz, no se requiere luz de referencia
◆ Resistencia a la vibración extremadamente fuerte, no es necesidad de aislamiento de vibración óptica
◆ Con diseño de supresión de franjas por interferencia láser
◆ Soporte de vigas colimadas, vigas no colimadas de NA alto
Este sensor de frente de onda UV BoJiong FIS4 utilizado para medición de aberración del sistema óptico, calibración del sistema óptico, medición de forma de superficie plana (oblea), medición de forma de superficie esférica óptica, etc.
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Detección de marco de haz láser |
Respuesta de detección de frente de onda del modo de óptica adaptativa Zernike |
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Ejemplo de medición de aberración del sistema óptico
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Ejemplos de medición de calibración del sistema óptico
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Ejemplo de medición de rugosidad de la superficie de la oblea
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Medición de la morfología de micro grabado - Muestra de defecto 1 # -114 líneas |
El sensor BoJiong FIS4 UV Wavefront fue desarrollado por un equipo de profesores de la Universidad de Zhejiang y la Universidad Tecnológica de Nanyang, Singapur. Tiene una resolución ultra alta de 512 × 512 (262144) puntos de fase, y puede lograr una medición de frente de onda de alta precisión en la banda de 200 nm a 400 nm. Se puede utilizar para medición de aberración del sistema óptico, calibración del sistema óptico, medición de la superficie plana (oblea), medición de la superficie esférica óptica, etc.
FIS4 UV combina la tecnología patentada de difracción de cuatro ondas codificada aleatoria con la cámara UV, e interfiere en la posición del plano de la imagen trasera. Tiene bajos requisitos para la coherencia de la fuente de luz y no requiere un cambio de fase. Puede lograr una medición de frente de onda en tiempo real con el sistema de imágenes UV. Tiene resistencia a la vibración ultra alta y estabilidad ultra alta, y puede lograr la medición de precisión de nivel NM sin aislamiento de vibración.
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