El sensor interferométrico ultravioleta de cuatro ondas incorpora nuestra tecnología patentada de codificación aleatoria de difracción de cuatro ondas, lo que permite interferencias en el plano focal posterior con requisitos mínimos para la coherencia de la fuente de luz, eliminando así la necesidad de cambio de fase. A través del sistema de imágenes ultravioleta, el sensor es capaz de realizar mediciones de frente de onda en tiempo real, exhibiendo una excelente resistencia y estabilidad a las vibraciones, y puede lograr mediciones de precisión a nivel nanométrico incluso sin el uso de aislamiento de vibraciones. BOJIONG Optoelectronics está preparado para redefinir los estándares para la medición y el análisis del rendimiento óptico, llevando a la industria a una nueva era de precisión y eficiencia.
Nombre del producto |
Sensor interferométrico ultravioleta de cuatro ondas |
Rango de longitud de onda |
200nm~450nm |
Tamaño objetivo |
13,3 mm × 13,3 mm |
Resolución espacial |
26 μm |
Resolución de muestreo |
512×512(262144píxeles) |
Resolución de fase |
<2nmRMS |
Precisión absoluta |
10 nmRMS |
rango dinámico |
90 μm (256 min) |
Tasa de muestreo |
32 fps |
Velocidad de procesamiento en tiempo real |
10 Hz (resolución completa) |
Tipo de interfaz |
USB3.0 |
Dimensión |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Peso |
alrededor de 240 g |
◆Espectro UV banda de 200 nm ~ 450 nm
◆Resolución ultraalta de 512×512 (262144) puntos de fase
◆Autointerferencia de luz de un solo canal, no se requiere luz de referencia
◆ Resolución de fase alta de 2 nm RMS
◆Rendimiento antivibración extremadamente fuerte, sin necesidad de aislamiento óptico de vibración
◆Al igual que las imágenes, construcción de ruta óptica fácil y rápida
◆ Admite haces colimados y haces no colimados de NA alta
Este sensor interferométrico ultravioleta de cuatro ondas BOJIONG se utiliza para medir la aberración del sistema óptico, calibrar el sistema óptico, medir la forma de la superficie plana (oblea), medir la forma de la superficie esférica óptica, etc.
Detección de frente de onda de rayo láser |
Respuesta de detección de frente de onda del modo Zernike de óptica adaptativa |
Ejemplo de medición de aberración de un sistema óptico. |
Ejemplos de medidas de calibración de sistemas ópticos |
Ejemplo de medición de rugosidad de la superficie de una oblea |
Medición de morfología por micrograbado: muestra de defecto 1 # -114 líneas |
Sensor interferométrico ultravioleta de cuatro ondas BOJIONG desarrollado por un equipo de profesores de la Universidad de Zhejiang y la Universidad Tecnológica de Nanyang de Singapur, con tecnología patentada nacional, combina difracción e interferencia para lograr una interferencia de corte transversal común de cuatro ondas, con una sensibilidad de detección superior y anti -Rendimiento de vibración y puede realizar interferometría dinámica de alta velocidad y en tiempo real sin aislamiento de vibración. La medición en tiempo real muestra una velocidad de cuadros de más de 10 cuadros. Al mismo tiempo, el sensor FIS4 tiene una resolución de fase ultraalta de 512 × 512 (260.000 puntos de fase), la banda de medición cubre 200 nm ~ 15 μm, la sensibilidad de medición alcanza los 2 nm y la repetibilidad de la medición es mejor que 1/1000 λ ( RMS). Se puede utilizar para análisis de la calidad del rayo láser, detección del campo de flujo de plasma, medición en tiempo real de la distribución del campo de flujo de alta velocidad, evaluación de la calidad de la imagen del sistema óptico, medición del perfil microscópico e imágenes de fase cuantitativa de células biológicas.
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