Interferómetro plano láser

El interferómetro láser plano (LPI-100), con su velocidad de medición dinámica en tiempo real de hasta 15 fotogramas por segundo, es capaz de detectar en tiempo real la forma de la superficie de elementos ópticos planos dentro de una apertura de 100 mm. El haz que transporta la información sobre la forma de la superficie del elemento medido se difracta a través de una rejilla especialmente codificada, que corta lateralmente el frente de onda en cuatro partes, formando un patrón de interferencia bidimensional de corte de trayectoria común con cuatro frentes de onda. Al demodular la interferencia bidimensional, se puede obtener la información sobre la forma de la superficie del elemento.

Especificación del artículo:

Característica del interferómetro plano láser BOJIONG

◆Hasta 15 fotogramas de medición dinámica en tiempo real

◆2 nm RMS Alta resolución de fase

◆ Resolución súper alta de 262144 puntos de fase

◆Puede realizar una detección dinámica en tiempo real, puede lograr una detección dinámica de 15 fotogramas/segundo

◆Con derechos de propiedad intelectual independientes, rentable, ajuste simple, estructura compacta

◆Basado en el principio de autointerferencia de canal común, el equipo no necesita un espejo de referencia y tiene una fuerte resistencia a la interferencia. En el entorno normal de fábrica también se puede lograr una detección precisa de superficies planas.

Aplicación del interferómetro plano láser BOJIONG

Este interferómetro plano láser BOJIONG está equipado con sensores interferométricos de cuatro ondas FIS4 para detectar la forma del espejo plano estándar, y el software de procesamiento genera el valor PV, el valor RMS y el valor de POTENCIA de la superficie del componente probado.

Detalles del interferómetro plano láser BOJIONG

Diagrama de diseño general del interferómetro dinámico plano de cuatro ondas BOJIONG

Los módulos funcionales del interferómetro plano láser BOJIONG se pueden dividir en un módulo de fuente de luz de iluminación, un módulo de expansión de haz secundario, un módulo portador, un módulo de enfoque puntual para ayudar en el ajuste de la actitud de la muestra y un módulo de sensor interferométrico para la detección de la forma de la superficie de la muestra. .

El módulo de fuente de luz del sistema adopta un láser de gas helio neón con una longitud de onda central de 632,8 nm.

El módulo de expansión del haz secundario amplía el tamaño del haz a 100 mm, cumpliendo con los requisitos para la detección de gran diámetro.

La sección de escenario se utiliza para colocar componentes ópticos planos que se van a probar, como cristales planos, obleas de un solo lanzamiento, chips de ventana, reflectores planos, etc. La plataforma de carga está equipada con volantes que se mueven en dirección X e Y para controlar el movimiento de la muestra. etapa, de modo que el punto de luz emitido por el equipo cubra completamente la superficie de la muestra de prueba. Al mismo tiempo, también se instalan dos perillas en el escenario para ajustar la postura de inclinación de la muestra. Al ajustar estas perillas, el plano de prueba se hace perpendicular al eje óptico.

El sistema de imágenes tiene un sistema de doble cámara. Uno de ellos utiliza una cámara de imágenes ópticas para formar un módulo de enfoque puntual para ayudar en el ajuste de la postura de la muestra. Al observar la posición del punto de retorno de la muestra en tiempo real, la postura de la muestra se ajusta para garantizar la precisión de la medición. El otro camino está equipado con un sensor interferométrico de cuatro ondas FIS4, que forma un módulo de sensor interferométrico para la detección de la forma de la superficie de la muestra. Al registrar franjas interferométricas de trayectoria común, se puede lograr retroalimentación en tiempo real de información tridimensional sobre la superficie de la muestra de prueba. El sistema de doble cámara puede funcionar simultáneamente.

Módulo de software profesional

◆Equipado con el software "Laser Planar Interferometer", puede mostrar y generar imágenes 3D en tiempo real del plano del elemento óptico medido, valores PV de salida, valores RMS y valores de POTENCIA de la superficie medida.

◆Al mismo tiempo, el software admite la exportación de datos sin procesar de los resultados de las mediciones, brinda soporte de datos de detección cuantitativa para diversos estudios y facilita a los usuarios realizar análisis e investigaciones de datos en el futuro.